发布网友 发布时间:2022-04-23 21:35
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热心网友 时间:2023-10-10 12:31
制造混合集成电路常用的成膜技术有两种:网印烧结和真空制膜。用前一种技术制造的膜称为厚膜,其厚度一般在15微米以上,用后一种技术制造的膜称为薄膜,厚度从几百到几千埃。若混合集成电路的无源网路是厚膜网路,即称为厚膜混合集成电路;若是薄膜网路,则称为薄膜混合集成电路。为了满足微波电路小型化、集成化的要求,又有微波混合集成电路。这种电路按元件参数的集中和分布情况,又分为集中参数和分布参数微波混合集成电路。集中参数电路在结构上与一般的厚薄膜混合集成电路相同,只是在元件尺寸精度上要求较高。而分布参数电路则不同,它的无源网路不是由外观上可分辨的电子元件构成,而是全部由微带线构成。对微带线的尺寸精度要求较高,所以主要用薄膜技术制造分布参数微波混合集成电路。