什么是MEMS?主要产品有哪些?

发布网友发布时间：2024-10-22 07:09

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热心网友时间：2024-11-11 03:19

微机电系统(MEMS)，是一种利用微细加工技术在半导体集成电路基础之上，创造出在硅或玻璃等薄基板上只有数十微米尺寸的运动部件和三维结构的创新系统。这些系统融合了执行器、传感器、电路以及辅助微结构，如微型柱子和薄膜，将机械和电子功能集成在单一芯片内，实现了高度集成和微型化。

构成MEMS的关键部分包括：

传感器：负责将物理信号如压力、磁力、静电或热量转换为电信号。
执行器：将能量转化为机械动作，实现系统的动作控制。
电路：包括放大器、补偿器，处理和传输信号，或将模拟信号转化为数字信号。
辅助元件：如发热元件、电极和晶体振荡器，协同工作以支持复杂的工艺。

MEMS传感器的优势在于，它们将传统传感器的电子和机械部分集成在一起，显著提高了设备的紧凑性和效率。例如，它们在智能手机的加速度计、压力传感器（如压电电阻式和静电容量式）以及测量加速度、压力、温度的传感器中发挥重要作用，推动了设备性能的提升和小型化。

美蓓亚三美的MEMS流量传感器则展示了这一技术的实用性，如小型、数字输出的压差传感器、流量传感器和风速传感器，这些特性增强了设计灵活性，提供了快速响应、高精度和高分辨率的数据。

MEMS技术的显著优势还包括生产效率高，能在单个晶圆上制造多种产品，非常适合大规模生产。它已经广泛应用到气味检测、基因分析、机器人、医疗、汽车等众多领域，极大地推动了这些领域的技术进步。